सिरेमिक कैपेसिटिव एब्सोल्यूट प्रेशर सेंसर
सिरेमिक कैपेसिटिव एब्सोल्यूट प्रेशर सेंसर एक प्रकार का सेंसर है जो एल्यूमिना सिरेमिक को अपनी मुख्य सामग्री के रूप में उपयोग करता है और कैपेसिटेंस में परिवर्तन का पता लगाकर एक पूर्ण वैक्यूम संदर्भ बिंदु के सापेक्ष दबाव को मापता है।
सीधे शब्दों में कहें तो, यह एक "परिवर्तनीय संधारित्र" है जो सीधे दबाव को समाई में परिवर्तन में परिवर्तित करता है, इसके संदर्भ गुहा को वैक्यूम के तहत भली भांति बंद करके सील किया जाता है।

संरचना एवं कार्य सिद्धांत
इसका मुख्य घटक एक सिरेमिक कैपेसिटिव सेंसिंग कोर है, जो आम तौर पर मल्टी {{0} लेयर सह - फायरिंग तकनीक का उपयोग करके निर्मित होता है:
संरचना:इसमें एक निश्चित इलेक्ट्रोड के साथ एक सिरेमिक सब्सट्रेट और एक सिरेमिक पतली फिल्म (डायाफ्राम) होती है जो चल इलेक्ट्रोड के रूप में कार्य करती है, जो ग्लास फ्रिट का उपयोग करके उच्च तापमान पर एक साथ बंधी होती है।
बंधन के बाद, उनके बीच एक अत्यंत छोटी, भली भांति बंद करके सील की गई वैक्यूम संदर्भ गुहा बनती है। यह पूर्ण दबाव माप प्राप्त करने की कुंजी है।
यह संरचना एक समानांतर-प्लेट संधारित्र बनाती है:
- प्लेट 1: निश्चित निचला इलेक्ट्रोड (सिरेमिक सब्सट्रेट पर मुद्रित)।
- प्लेट 2: चल ऊपरी इलेक्ट्रोड (सिरेमिक डायाफ्राम स्वयं, आमतौर पर धातुकृत)।
- ढांकता हुआ: वैक्यूम (संदर्भ गुहा के अंदर) और सिरेमिक।
परिचालन प्रक्रिया
- आरंभिक राज्य:पूर्ण निर्वात के तहत, सिरेमिक डायाफ्राम विकृत नहीं होता है, और कैपेसिटेंस मान एक प्रारंभिक मान, C₀ है।
- लागू दबाव:जब बाहरी दबाव (पूर्ण दबाव) सिरेमिक डायाफ्राम के बाहरी तरफ कार्य करता है, तो डायाफ्राम वैक्यूम संदर्भ गुहा की ओर थोड़ा झुकने वाले विरूपण से गुजरता है।
- समाई परिवर्तन:इस विकृति के कारण दो संधारित्र प्लेटों के बीच की दूरी कम हो जाती है।
समानांतर -प्लेट कैपेसिटर सूत्र C=εA/d (जहाँ ε पारगम्यता है और A सापेक्ष प्लेट क्षेत्र है) के अनुसार, दूरी में कमी के परिणामस्वरूप कैपेसिटेंस मान C में वृद्धि होती है।
- सिग्नल मापन:एक बाद का समर्पित सर्किट (आम तौर पर एक ASIC - एप्लिकेशन - विशिष्ट इंटीग्रेटेड सर्किट) कैपेसिटेंस में इस मिनट के बदलाव का पता लगाता है, इसे परिवर्तित करता है, बढ़ाता है और रैखिक बनाता है, और अंत में पूर्ण दबाव के अनुपात में एक मानकीकृत सिग्नल (जैसे वोल्टेज या डिजिटल सिग्नल) आउटपुट करता है।
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